测量原理:增强型光学测量技术——条纹投影、AI多焦面叠加、共聚焦、干涉、光谱反射

测量原理:增强型光学测量技术——条纹投影、AI多焦面叠加、共聚焦、干涉、光谱反射

1、条纹投影:Fringe Projection

条纹投影非常适合大面积测量,垂直精度和可重复性高,系统噪声低。

2、AI多焦面叠加:Ai Focus Variation

Ai 多焦面叠加经过开发和完善,可测量粗糙大表面的形状。高斜率表面的最佳选择。

3、共聚焦:Confocal

共聚焦轮廓仪测量表面高度,从光滑表面到非常粗糙的表面均能胜任,使它们成为关键尺寸测量的理想之选。

4、干涉:Interferometry

干涉技术可用于特定应用,从光滑的连续表面到中等粗糙的表面均可测量。

5、光谱反射:SR

对于透明层样本,光谱反射是以快速、准确、非破坏性方式执行厚度测量的关键。

为何使用四合一技术?

采用 Sensofar 的四合一法 – 正如 S neox 系统那样 – 在软件中单击一次就可将系统切换到适合当前任务的技术。S neox 传感器头采用 4 种测量技术 – Ai 多焦面叠加、共聚焦、干涉 & 光谱反射 – 因此,每种技术都是实现系统通用性的重要因素,有利于减少数据采集时不希望发生的缺陷,同时提供 Sensofar 的一流表面测量性能。

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